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如何校准金相显微镜的误差?

2021-06-18

  金相显微镜是专门用于观察金属和矿物等不透明物体金相组织的显微镜。这些不透明物体无法在普通的透射光显微镜中观察,因此金相和普通显微镜的主要差别在于前者以反射光,而后者以透射光照明。在金相显微镜中照明光束从物镜方向射到被观察物体表面,被物面反射后再返回物镜成像。这种反射照明方式也广泛用于集成电路硅片的检测工作。
 
  今天小编给大家讲讲如何校准金相显微镜的误差?
 
  1.物镜放大倍数的正确性:装上10X标准目镜和被检物镜,将0.01mm标准没微尺放在工作台上并压紧。调查时测微尺应与目镜中的分划板相符合,其偏移量测是放大倍数的偏差。其余物镜以此类推举行校校准,其偏差不大于5%。
 
  2.目镜分划板的准确度:将带分划板目镜的镜头旋下,把分划板放置在万工显工作台上并调好焦距;调解工作台,使分划板的水平线与万工显纵导游轨行程平行并对好零位,按每20格测量一次,直到第100格,其偏差不大于5um。
 
  3.物镜成像清楚局限:用被检物镜及10X目镜对测微尺或金相试样举行调焦,使成像清楚。当视场中心像非常清楚时,测得视场内的成像清楚局限的偏差不低于60%。
 
  4.各物镜相对于目镜的格值:装上被检仪器的10X目镜,将0.01mm标准测微尺(推荐应用随机0.01mm测微尺)放在工作台上并压紧;调解测微尺标尺轴线与仪器目镜分划板标尺轴线平行,并读出目镜分划板i条刻线里包括测微尺n条刻线数,该物镜相对于目镜的格值为:C=n/i*0.01mm.其余物镜的格值以此类推举行校准。

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